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기술자료실

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<Brief News No.127(Deep.RIE)>
작성자 김영우 작성일 2014-05-27 조회수 3252
파일목록 BriefNews_no.127(Deep.RIE).jpg [470944 byte]
Dear :
 
In this issue, we describe the specifications and  
basic process on Deep RIE previously mentioned in Brief News No. 15.
 
Please contact the person in charge(Mr. Jin Bae Bang)
for more details by e-mail or telephone(Tel. 0515).

Thanks a lot.


 
May 27, 2014.
 
CCRF(중앙기기센터), DGIST
 
BriefNews_no.127(Deep.RIE).jpg

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