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공지사항

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[소자클린룸]절연막스퍼터링 시스템 정기 PM 안내
작성자 전성기 작성일 2017-09-05 조회수 236
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안녕하십니까
소자클린룸 장비 수리 및 점검 일정 안내 입니다.
해당 장비명 : Cluster Sputter_절연막스퍼터링 시스템
내용 : PUMP 정기 PM 실시
일정 : 09월 13일  ~ 09월 21일(10일 소요 예정)
장비 사용 가능 유무 :  사용 불가
담당자 : 0537850521
실험에 일정에 참조하여 주십시오.
감사합니다.
전성기 드림.
 

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