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[소자클린룸] EBL(Electron-beam lithography) 장비 사용중지 안내
작성자 장환수 작성일 2017-12-05 조회수 693
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[소자클린룸] EBL(Electron-beam lithography) 장비 사용중지 안내
 
안녕하십니까?
 
소자클린룸 EBL 장비 PM 관련하여 아래와 같이 장비 사용이 중지됨을 알려드립니다.
 
장비명 : EBL(Electron-beam lithography) system
PM 기간 : 20171213일부터 17일까지
정상 사용 일시 (예상) : 20171218일부터 ~
 
공정에 불편을 드려 대단히 죄송합니다.
 
변경 사항이 있으면 추가 재공지 하겠습니다.
 
PM 완료 후 정상 사용 여부 재공지 하겠습니다.
 
감사합니다.
 
장환수 올림.

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